等離子體診斷

ESPion高階朗繆爾探針（Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation）可快速₪◕✘││、可靠₪◕✘││、準確地進行等離子體診斷╃│，是先進可靠的Langmuir探針◕•╃。

·Hiden在被動射頻補償方面處於*地位╃│，在所有的商業化探針中 ESPion具有高的遮蔽阻抗(4.25Mohm at 13.56 MHz cf. 100kohm) 
· 參考探針補償用於抵制較低頻率影響╃│，例如等離子體電位漂移(如╃│，反應室內腔陽極氧化所致) 或噪音(如╃│，供電源引起)
· 高溫等離子體操作時的氣體制冷多感應器鏈╃│，使用者可調諧至其他頻率 

·獲得資料速度↟·↟☁·：     15scans/s╃│，

·透過D-O-E-介面可以自動/半自動/手動分析
·300₪◕✘││、600₪◕✘││、915mm 自動線性驅動器可選╃│，互鎖隔離閥╃│，

·90°探針╃│，組合式線性－旋轉驅動器可選
·ESPion 是所有商業化探針中快速的脈衝等離子體探針╃│，

·ESPsoft 包括所有必需的標準脈衝選通電路

·自清洗迴圈╃│，防止探針汙染
· 經由RS232₪◕✘││、RS485₪◕✘││、Ethernet LAN 和 ESPsoft軟體控制