等離子體質量和能量分析儀

Hiden EQP 等離子體質量和能量分析儀應用↟•╃✘•：

· 刻蝕 / 沉積作用研究
· 離子植入 / 鐳射燒蝕
· 殘餘氣體分析 / 洩漏檢測
· 等離子體電極耦合•↟•☁，即在操作中遵從電極設定條件
· 透過視口│↟▩╃、接地電極和驅動電極進行分析

Hiden EQP 等離子體質量和能量分析儀特點↟•╃✘•：

· 軟體控制的離子汲取光學系統•↟•☁，以使等離子體擾動z小
· 45°靜電扇區分析器•↟•☁，掃描能量增量 0.05 eV / 0.25eV FWHM
· 所有能量範圍內•↟•☁，離子行程的z小擾動•↟•☁，及恆定離子傳輸
· 帶差式泵的三級過濾四極杆•↟•☁，質量數範圍至2500amu
· 高靈敏度 / 穩定的脈衝離子計數檢測器•↟•☁，有7個數量級的動態範圍
· 可調諧的離子源•↟•☁，用於電子附著選件的表觀電勢質譜分析
· Penning規和互鎖裝置可提供過壓保護
· 訊號選通解析度1μs•↟•☁，用於研究脈衝等離子體或能量│↟▩╃、質量分佈隨時間的變化
· 1000eV 選配, 漂浮電壓可選至10keV, Faraday 杯用於高密度等離子體
· Mu-Metal, Radio-metal 遮蔽可選,高壓操作可選
· 透過RS232│↟▩╃、RS485或Ethernet LAN•↟•☁，控制軟體MASsoft↟☁。