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飛行時間二次離子質譜儀的知識要點☁◕│,一看便知

釋出時間•☁╃↟₪:2020-10-31瀏覽•☁╃↟₪:995次

       飛行時間二次離子質譜儀作為一種檢測材料的儀器│☁。它是採用質譜技術分析表面原子層以確定表面元素組成和分子結構│☁。其特點是高靈敏度和高解析度│☁。

  飛行時間二次離子質譜儀的基本結構•☁╃↟₪:
  二次離子質譜儀視其應用之不同而有各種不同的型式☁◕│,其基本構造可分為下列四大部分•☁╃↟₪:
  (1)照射激發用的一次離子束的離子槍;
  (2)以能量選擇由試品產生的二次離子能量過濾器;
  (3)進行質量選擇的質譜儀;
  (4)放大·◕₪◕、檢測經質量選擇後的二次離子檢測輸出訊號│☁。
  飛行時間二次離子質譜儀的原理•☁╃↟₪:
  1.利用聚焦的一次離子束在樣品表面上進行穩定的轟擊☁◕│,一次離子可能受到樣品表面的背散射☁◕│,也有部分進入樣品表面☁◕│,這部分離子把能量傳遞給晶格☁◕│,當入射能量大於晶格對原子的束縛能是☁◕│,部分原子脫離晶格向表面運動☁◕│,並且產生原子間的級聯碰撞☁◕│,當這一能量傳遞到表面☁◕│,並且大於表面的束縛能時☁◕│,促使表面原子脫離樣品☁◕│,謂之濺射;
  2.上述一次離子引發的濺射大部分為中性原子或分子☁◕│,也有少量荷電集團☁◕│,包括帶電離子·◕₪◕、分子·◕₪◕、原子團☁◕│,按照荷質比經過質譜分離;
  3.收集經過質譜分子的二次離子☁◕│,可以得知樣品表面和體內的元素組成和分佈│☁。
  飛行時間二次離子質譜儀的應用很廣☁◕│,偵測表面汙染·◕₪◕、氧化·◕₪◕、還原·◕₪◕、吸附·◕₪◕、腐蝕·◕₪◕、觸媒效應·◕₪◕、表面處理等動態分析之表面研究工作☁◕│,尤其可作微量元素分佈☁◕│,因此在材料·◕₪◕、化學·◕₪◕、物理·◕₪◕、冶金及電子方面之發展☁◕│,使用者很多│☁。該產品不但可作表面及整體之分析☁◕│,又可直接作影像觀察☁◕│,其靈敏度及解析能力甚高☁◕│,由較小的氫至原子量很大的元素均可偵測☁◕│,尤其對於同位素的分析更是有效│☁。

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